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TENCAN hochreine Nylon-Trommel-Kugelmühle Metallfreie Pulvermahlenmischgeräte

TENCAN hochreine Nylon-Trommel-Kugelmühle Metallfreie Pulvermahlenmischgeräte

Produktdetails:

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Detailinformationen

Hervorheben:

Nylon-Trommelkugelmühle

,

Metallfreie Pulverschleifgeräte

,

mit einer Leistung von mehr als 50 W und einer Leistung von mehr als 50 W

Produkt-Beschreibung

TENCAN hochreine Nylon-Trommel-Kugelmühle Metallfreie PulvermahlenmischgeräteTENCAN hochreine Nylon-Trommel-Kugelmühle Metallfreie PulvermahlenmischgeräteTENCAN hochreine Nylon-Trommel-Kugelmühle Metallfreie PulvermahlenmischgeräteTENCAN hochreine Nylon-Trommel-Kugelmühle Metallfreie PulvermahlenmischgeräteTENCAN hochreine Nylon-Trommel-Kugelmühle Metallfreie PulvermahlenmischgeräteTENCAN hochreine Nylon-Trommel-Kugelmühle Metallfreie Pulvermahlenmischgeräte

Reinnylon-Rollkugelmühle

 

Anwendungsbereiches:

Null Metallkontamination,am bestenAuswahl für eine hochreine Schleifung.Reinnylon-Rollkugelmühle ist sPECSieheDie für das Schleifen und Mischen von hochreinen Materialien konzipierte reine Nylon-Schleifflasche verhindert wirksam die Kontamination mit Metallionen.für Anwendungen mit hoher Reinheit wie neue Materialien geeignet vonElektronik, Chips und Halbleiter,und Industriezweige wie, Lebensmittel und FeinchemikalienIchIndustrie.

Spezifikationen30 ~1000 L

Ladekapazität: 10,5 ~350 l pro Charge

Abflusspartikelgröße:Kleinste Partikelgröße erreicht0.1μm

 

1.Eigenschaften der reinen Nylon-Rollkugelmühle

1.1Null Metallkontamination,am bestenAuswahl für die hochreine Schleiferei

Paus NylonRollenDie Kugelmühle ist speziell für das Schleifen, Zerkleinern, Mischen und Streuen von hochreinen Materialien ausgelegt.die die Eisen-Ionen- und Schwermetallverschmutzung, die durch herkömmliche Metallschleifbehälter entstehen kann, wirksam vermeiden kann, und helfen, die Reinheit der Materialien sicherzustellen.

 

Diese Ausrüstung weist Eigenschaften von Verschleißbeständigkeit, Korrosionsbeständigkeit, geringen Geräuschen und Schwingungen, stabilem Betrieb und einfacher Wartung auf und Das istfür Industriezweige mit hohen Reinheitsanforderungen wie elektronische Materialien geeignet ist, Zwiebeln und Halbleiters Materialien,Rohstoffe, Lebensmittelzusatzstoffe, Feinchemikalien, hochwertige Pigmente sowie Forschung und Entwicklung neuer Materialien.

 

2.Warum wählen Sie einen reinen Nylon-Schleifbehälter für ein hochreines Schleifen?

 

Traditionelles MetallRollenKugelmühlen können folgende Probleme haben:inVerarbeitung von hochreinen Materialien:

2.1 Metallverschmutzungsrisiko

Bei herkömmlichen Metallschleifbehältern können während des langfristigen Schleifens Eisen-Ionen oder andere Metallverunreinigungen abfließen, was die Reinheit des Materials und die Qualität des Endprodukts beeinträchtigt.

 

 

 

2.2Unzureichende Korrosionsbeständigkeit

Unter sauren, alkalischen oder speziellen chemischen Bedingungen können gewöhnliche Metallfässer korrodiert werden, was nicht nur ihre Lebensdauer beeinträchtigt, sondern auch eine Sekundärverschmutzung der Materialien verursachen kann.

2.3Übermäßige Geräusche und Vibrationen

Metallfässer sind anfällig für spürbare Kollisionsgeräusche und Vibrationen während des Betriebs, was sich auf die Stabilität des Dauerbetriebs und das Betriebserlebnis vor Ort auswirken kann.

2.4Das Reinigen und Wechseln von Materialien ist ziemlich mühsam.

Stoffrückstände mit einer Breite von nicht mehr als 20 mmsind schwer zu saubergründlich, und beim Austausch verschiedener Materialien kann eine Kreuzkontamination auftreten,dieAnstiegEs ist Arbeitsbelastung inReinigung und Wartung.

Das reine NylonRollenBallmühle verwendet nichtmetallische Schleifbehälter, die das Risiko von Metall effektiv reduzieren könnenVerunreinigung, während auch dieAnforderungDie Produkte sind mit hoher Verschleißfestigkeit, Korrosionsbeständigkeit, geringen Geräuschen und einfacher Reinigung und Wartung ausgestattet.Es eignet sich besser für die Produktion und Forschung und Entwicklung von hochreinen und hochreinen Materialien.

 

3.Hauptvorteile der reinen Nylon-Rollkugelmühle

3.1Null Metallverschmutzung

Schleifbehälter aus reinem Nylonhaben nichtMetallmaterialien, mit denen Kontakt bestehtSchleifenMaterialiendirekt, die die Niederschlagung von Eisen-Ionen und Schwermetallverunreinigungen wirksam reduzieren können.

3.2HIch weiß nicht.WOhrRExistenz

Das Nylonmaterial hat eine gute Verschleißbeständigkeit und kann Reibung und Aufprall durch langfristiges Rollschleifen widerstehen, was dazu beiträgt, die Lebensdauer des Schleifbehälters zu verlängern.

3.3Gute Korrosionsbeständigkeit

mit einem Durchmesser von mehr als 20 mmSchleifbehälterAnpassensDie spezifische Bandbreite des mittlerenKorrosionDie Widerstandsfähigkeit muss anhand der Materialzusammensetzung, Temperatur und Nylonqualität bestätigt werden.

 

3.4 Niedriger Lärm- und Schwingungsgrad

Das Nylonmaterial weist bestimmte Puffer- und Vibrationsabsorptionsmerkmale auf, die das durch die Kollision zwischen dem Schleifmedium und dem Lauf erzeugte Geräusch reduzieren können.die Ausrüstung reibungsloser laufen zu lassen.

3.5 Hohe saubere Produktion

Naylon gSchalenbehälteristleicht zu reinigen und zu warten, wodurch Materialrückstände und Kreuzkontamination zwischen verschiedenen Materialchargen verringert und die Zeit für den Materialwechsel und die Reinigung verkürzt wird.

3.6 Flexibler Betrieb

Der reine Nylon-Rollkugelmühle kann entsprechend den Anforderungen des Endnutzers mit einer Frequenzvariablen Drehzahlregelung oder einer festen Drehzahlregelung ausgestattet werden.

3.7 Skalierbare Sicherheitskonfiguration

für Feuerfähige, explosionsfähige oder spezielle Werkstoffe explosionssichere elektrische Steuerung, Schutzdeckel und entsprechende SicherheitssteuerungenAusgabes können entsprechend derArbeitenUmwelt.

3.8 SkalierbarEineAußenkörperDAuszahlung

Optionale automatische Entladung und Kugel-Material-Trennungssystem kann verwendet werden, um manuellen Betrieb zu reduzieren und die Entladung und Charge Produktion Effizienz zu verbessern.

4.Der vollständige Anwendungsstatus von reinem NylonRollenKugelmühle zum Schleifen von HalbleitermaterialienundSplitter die Materialien.

 

4.1Kernpunkt der IndustriesDie letzte Voraussetzung:smit einer Breite von mehr als 20 mm,

 

4.1.1Die Pulver-/Schlammmaterialien in der Splitterindustriekette sind strengstens von Metallverunreinigungen wie Fe, Cr, Ni, Cu usw. ausgeschlossen.dielektrisch, Abbau-, Leckstrom- und Sinterleistungsindizes von Halbleitergeräten.

 

4.1.2Traditionelle Edelstahl-/Gussflasche: Reibung und Verschleiß erzeugen Metallspäne, und Verunreinigungen sind anfällig, um den Standard zu überschreiten.

 

4.1.3Zirkonie/Korund-Keramikflasche: keine Metallverschmutzung, aber extrem hohe Härte, es ist sehr leicht, weiches Vorläuferpulver zu zerkleinern und die Kristallmorphologie beim Schleifen zu beschädigen,und ihre Kosten sind sehr hoch, und bei Kollisionen leicht zerbrechen;

 

4.1.3 Reinnylon-Integrierte Formfassfässer: Die gesamteSchleiffasskeine Metallkontakte, geringe Härtepufferung und geringe Metallniederschlagsmenge,Das ist es.geeignet für die nasse Dispersion, das Mischen und das Feinschleifen von Halbleitern mit weichen/mittleren bis niedrigen Härten, hochreinen Pulvern und SchlackenyEs wird hauptsächlich für die Forschung und Entwicklung von Klein- und Pilotproduktionen sowie für kleine, saubere Produktionslinien verwendet.

 

4.2Vorteile der Anpassung des reinen Nylontrommelkerns (ausgenommen Antrag aufSzenarien für Halbleiter)

 

4.2.1Null Metallverschmutzung, die die Reinheitskontrolle von Chips auf ppb-Niveau erfüllt

Annahme von MC-Nylon mit hoher Reinheit oderPA66 integriertAlterungsfass, ohnealleMetallverschluss, Metallverbindungen oder Edelstahlklebschicht, wobei das Material nur mit Nylon und nichtmetallischen Schleifmedien (Zirkoniumkugeln,hochreine Aluminiumoxidkugeln) während des gesamten Verfahrens, wodurch die Einführung von Eisen, Chrom und Nickel-Ionen vollständig blockiert wird.

VerglichenmitZylinder aus Edelstahl: nach dem Schleifen mit einer Breite von nicht mehr als 20 mmDie Fe-Verunreinigungen im Pulver können um das 100- bis 1000fache reduziert werden, was es zu einem perfekten - Reinheitsvorläufer.

 

4.2.2 Niedrighärter Puffer zum Schutz der natürlichen Kristallstruktur von Halbleitstoffen -Leiterpulver

Ich... Nylon hat eine Shore-D-Härte von 75-80, viel niedriger als Zirkonium und Korund.SchleiffassDreht sich, bildet er einen elastischen Puffer für Pulver und Schleifkugeln.

Ich... Vermeidung von übermäßiger Fragmentierung und Gitterfehlern von Soft-Chip-Vorstufen.Verringerung der irreversiblen harten Agglomeration von Ultrafeinpulvern.

Ich... Geeignet für Materialien wie MLCC-Dielelektrpulver, piezoelektrische Keramik und hochreines Aluminiumoxid-Polierpulver, das empfindlich auf die Sphärität und Partikelgrößenverteilung reagiert.

 

4.2.3 Lösungsmittelbeständigkeit und Kompatibilität der Technik des nassen Halbleiterprozesses

Ich... Widerstandsfähig gegen Ethanol, Isopropanol, Lösungsmittel für die Alkohollithographie, deionisiertes Wasser und schwache organische Dispersionen.

Ich... Anpassung an das gängige Dispersionsverfahren der nassen Kugelfräserei in der Splitterindustrie.

Ich... mit einem Durchmesser von mehr als 20 mm undFluorkautschuk-Siegelring, kein Ablagerungsleck, keine äußere Staubverkontamination.

 

4.2.4 geringe Rückstände, leicht zu reinigen, geeignet für den Wechsel zwischen mehreren Kategorien von Halbleitermaterialien

Die Innenwand des Zylinders ist glatt und frei von Poren und toten Ecken.die Gefahr einer Kreuzkontamination zwischen verschiedenen Chargen von Zielpulver erheblich verringertEs eignet sich für das Schleifen mehrerer Arten von Proben abwechselndin Forschungs- und Entwicklungslaboren.

 

4.2.5 Energiesparend, geräuscharm, leicht und geeignet für saubere Werkstätten

Nylon hat eine Dichte von nur 1,15 g/cm3, was über 60% leichter ist als Keramik-/Metallflaschen des gleichen Volumens und den Gesamtenergieverbrauch um 15% bis 20% reduziert.keine Notwendigkeit für schwere schalldichte Räume, geeignet für Halbleiterklasse 1000/10000 in sauberen Laborumgebungen.

 

5.Tabelle der technischen Parameter für den Ballmühle aus Nylonrollen

 

 

Technische Parameter Tabelle 1 für reine Rollkugelmühlen
Artikel Nr. Produktbezeichnung Modell Nr. Stromversorgung Macht
(KW)
Maximale Kapazität
(L/Liste)
Rotation der Trommeln
(r/min)
Geschwindigkeitsregelungsmodus
1 Rein Rollenkugelmühle QM-30L 220V-50/60Hz 1 Phase
110V-60Hz 1-Phasen
0.75 10.50  20 bis 60 Variable Frequenz
unendliche Geschwindigkeitsregelung
oder
Feste Drehgeschwindigkeit
2 Rein Rollenkugelmühle QM-50L 220V-50/60Hz 1 Phase
110V-60Hz 1-Phasen
1.5 17.50  20 bis 50
3 Rein Rollenkugelmühle QM-100L 380V-50/60Hz 3 Phasen
110V-60Hz 3 Phasen
2.2 35.00  20 bis 45
4 Rein Rollenkugelmühle QM-200L 380V-50/60Hz 3 Phasen
110V-60Hz 3 Phasen
4.0  70.00  20 bis 40
5 Rein Rollenkugelmühle QM-300L 380V-50/60Hz 3 Phasen
110V-60Hz 3 Phasen
5.5 105.00  20 bis 38
6 Rein Rollenkugelmühle QM-500L 380V-50/60Hz 3 Phasen
110V-60Hz 3 Phasen
7.5 175.00  20 bis 36
7 Rein Rollenkugelmühle QM-1000L 380V-50/60Hz 3 Phasen
110V-60Hz 3 Phasen
11 350.00  20 bis 34


Technische Parameter Tabelle 2 für reine Rollkugelmühlen
Artikel Nr. Modell Nr. Fütterungsgröße
(mm)
Ausgangsgröße
(Gitter)
Umriss der Abmessungen
(mm) 
Nettogewicht
(kg) 
Andere verfügbare Verkleidungsmaterialien
1 QM-30L ≤ 5 ≤ 300 1250*520*1020 185 Neben der Nylonfolie gibt es PU-Fassade, Korundfolie, Zirkoniafolie, PTFE-Fassade für
2 QM-50L ≤ 5 ≤ 300 1350*620*1120 225
3 QM-100L ≤ 10 ≤ 300 1350*780*1240 420
4 QM-200L ≤ 10 ≤ 300 1750*1000*1410 740
5 QM-300L ≤ 10 ≤ 300 1880*1000*1500 780
6 QM-500L ≤ 10 ≤ 300 2425*1560*1750 1250
7 QM-1000L ≤ 20 ≤ 300 2825*1750*1950 1550

 

 

6.Anwendungsszenarien für Chip-Halbleiterunterteilungsmaterialien

 

6.1Erweiterte elektronische Keramikpulver (MLCC, Chipwiderstände, piezoelektrische Keramik, maximale Verwendung)

Ich... Ausgangsstoffe:hochreines Barium-Titanat, Strontium-Titanat, Bleizirkonat-Titanat PZT, Aluminium-Oxid, Yttrium-Oxid-Pulver als keramischer Vorläufer;

Ich... Prozess:Feuchte Dispersion, Ultraschleiferei, gleichmäßiges Mischen von Schlamm;

Ich... Funktion:mit einem Durchmesser von mehr als 20 mmFassverhindert, dass Eisenverunreinigungen zu einem übermäßigen Leckstrom und einer Verringerung der Abbruchspannung der Kondensatoren führen; elastische Pufferung bewahrt die kugelförmige Morphologie des Pulvers,Verbesserung der Sinterdichte und Kapazitätsstabilität von Keramik;

Ich... Anwendungsphase:Kleinstmaßstabversuch im FuE-Labor (0,5 L bis 20 L Nylon)Fass), Pilot-Kleinproduktion (50L~ 300L integriertes NylonFass)

 

6.2 Vorläuferpulver mit hoher Reinheit für Halbleiter-Zielmaterialien (Sputterziele, eingekapselte Keramikziele)

Ich... Ausgangsstoffe:Zielmaterialien für hochreines Aluminiumoxid, Zirkonium, Hafniumoxid, Yttrium-Oxid und Seltenerd-Oxid.

Ich...Häufige Herausforderungen:Metallverunreinigungen im Zielmaterial können zu Abbruchfehlern der Wafer und dünnen Filmlöchern führen.

Ich... Anpassungsverfahren:Trockene Vor-Mischung, nasse Ultrafeinschleifen, gepaart mit hochreinen Zirkonia-Schleifkugeln; Der Nylonzylinder hat keine Metallvorfälle,Sicherstellung, dass die Reinheit des Pulvers der nationalen Norm für Halbleiterzielmaterialien entspricht.

 

6.3 Splitterverpackungen/thermalleitendes Keramikpulver und -schlamm

Ich... Ausgangsstoffe:Aluminiumnitrid AlN, Bornitrid BN, Aluminiumoxid ist wärmeleitend Füllstoff, Niedertemperatur co-gebranntem Keramik-LTCC-Rohstoffpulver.

Ich... Eigenschaften:Aluminiumnitrid ist sehr anfällig für Metallionenverunreinigungen, was seine Wärmeleitfähigkeit verringert.Fasskann Metall während des gesamten Prozesses isolieren und dabei sanft dispergieren, ohne die blattartige BN-Kristallstruktur zu beschädigen.

 

 

6.4 Halbleiterleitende/isolierende elektronische Paste (Bleichip, Verpackungssilberpaste, isolierende dielektrische Paste)

Ich... Ausgangsstoffe:Ultrafeines Silberpulver, Platin-Palladium-Edelmetallpulver, Glaspulver, organischer Träger, vermischt und dispergiert;

Ich... Kernwert: Exsehr geringe Menge EisenVerunreinigungen in Edelmetallpulvern können die Leitfähigkeit erheblich verringern. Der Nylonzylinder wird nicht abgenutzt und Metallschrott erzeugen, um Edelmetalle zu kontaminieren,Gleichzeitig wird es sanft dispergiert, um übermäßige Kugelfräsen und Oxidation von Silberpulver zu vermeiden.

 

6.5 Waferpoliermaterialien, Fotolithographie mit hochreinem Pulver

Hochreines Siliziumdioxid Polierpulver, photoresistentes anorganisches Füllmittel und Entwicklung eines unterstützenden funktionellen Pulvers; Nassmüllung mit schwachen organischen Lösungsmitteln,Naylon ist gegen Korrosion durch leichtes Ätzmittel beständig, und löst keine organischen Verunreinigungen auf, die die Lithografie beeinträchtigen.

 

6.6 Halbleitervorläufermaterialien der dritten Generation (Forschung und Entwicklung von Siliziumcarbid und Aluminiumnitridpulver)

Kleinserien-Schleifen in Universitäts-/Materialunternehmen-Laboren zur Mischung von SiC-Substrat-Keramikmaterialien; die Ausrüstung besteht größtenteils aus kleinem reinem Desktop-NylonRollenKugelmühlen, geeignet für inerte Atmosphäre und einfache Dichtungsbedingungen.

 

7.MainstreamÜbereinstimmungVerfahrenskombination (Standardschema für das Schleifen von Halbleitern)

7.1Zylinder: Rein MC-Nylon mit integriertem Formfass (die Gefahr der Abtrennung und Delamination der Auskleidung ist überlegen als die Auskleidung aus Nylon).

7.2Schleifmedium (ohne Metallteile)

Weiches Pulver/Edelmetallschlamm: hochreine Nylonkugeln mit einem Durchmesser von 1 bis 5 mm;

Ultrafeines Schleifen von Keramik-Oxid: hochreine Zirkonium-Mikrosphären (ohne Aluminium- oder Schwermetall-Ausfälle);

7.3Verfahren: hauptsächlich nasses Mahlen (deionisiertes Wasser/Alkoholdispergierungsmittel), gemischt mit einer geringen Menge trockener, inertierter Luft.

7.4 Spezifikationen der Ausrüstung

Laborforschung und -entwicklung: 0,5 L bis 20 L Schreibtisch-Drumballmühle aus Nylon;

Pilot-/Kleinserienproduktion: 50L~1000L industrielle integrierte Nylon-Trommelmaschine (Mainstream-Modelle wie Sansho),MM Tech aus Japan, MM Tech undChina Tencan).

 

7.5 Wahlmodule:WasserkühlungSchlechteTemperaturkontrolle der Jacke (thermische Lithographiepaste), explosionssicheren Motor, vollständig geschlossene saubere staubsichere Hülle, Frequenzumwandlung und präzise Geschwindigkeitsregelung.

 

 

 

8.Einschränkungen von NylonRollenKugelmühle in der Halbleiterindustrie (Auswahlgrenzen)

 

8.1Niedrigtemperaturwiderstandsgrenze: Langzeitbetriebstemperatur ≤100~120°C, nicht geeignet für das Trockenmahlen bei hohen Temperaturen, nur kompatibel mit dem Umgebungsnassmahlen.

 

8.2Nylon ist nichtmit einer Breite von mehr als 20 mm,Ballmühle aus Nylonrollenkann nichtSchleifenKonzentrierte starke Säuren, konzentrierte starke Alkali (Fluorwassersäure, konzentrierte Salzwassersäure, starke Alkali-Etslösungen) undPTFE-Fass muss fürsehr ätzende Pulver.

 

 8.3 Nylon eignet sich nicht für die langfristige ultrafeine Schleifung von Materialien mit sehr hoher Härte:Mohs(reines Siliziumcarbid, Diamantpulver) wird die Nylonzylinderwand nach langem Schleifen leicht abnutzen, und Spuren von nylonorganischen Abfällen werden sich in das Pulver mischen.Ein Eimer istfür solche hochhärten Materialien bevorzugt.

 

   8.4Mängel bei der großen industriellen Produktion: Nylon hat eine geringere mechanische Festigkeit als Metall/Keramik, und der Ultraschallzylinder mit einem Volumen von mehr als 1000 L ist anfällig für Verformungen,so dass es nur für FuEDie Produktionslinie für 10000 TonnenSkalanoch immer hauptsächlich Zirkonialum verwendetSchlechte Ein Eimer.

 

9.Zusammenfassung der Anwendung in der Industrie und Auswahlvorschläge

 

9.1Marktpositionisierung

mit einer Breite von nicht mehr als 30 mmRollenDie Kugelmühle ist eine spezialisierte Ausrüstung für die Forschung und Entwicklung von Halbleitermaterialien, für das Pilot-Clean-Schleifen undDas istSie kann jedoch nicht die großen Zirkonium-Produktionsbetriebe ersetzen. EinUnersetzliche Vorteile bei sauberer und geringer Schädigung in den Bereichen kleiner Chargen von hochreinen weichen Pulvern, Edelmetallschlamm und elektronischen Keramikvorläufern.Der reine Nylon-Roll-Kugelmühle wurde von immer mehrUnternehmen für Chipmaterialien und Universitätslaboratorien für Mikroelektronikmit steigender GeschwindigkeitJahr für Jahr.

 

9.2Auswahlstandard

Vorzugsweise reines NylonRollkugelmühle: Materialien sollten Eisen/Schwermetalle vermeiden, Pulver sollte weich sein, Raumtemperatur nasser Prozess, kleine Chargenentwicklung erforderlich und Kristallmorphologie muss geschützt werden.

- Nicht empfohlen für die Kugelmaschine mit Nylonrollen: Hochtemperaturmahlen, starkes Säure-Alkali-Pulver, hartes Pulver mit Mohs-Härte> 7, Großproduktion von über 1000 Litern.

 

 

 

9.3 Wichtige Beschaffungsanforderungen für die Halbleiterindustrie

Es ist notwendig, Original- und Neumaterialien zu verwenden, um einen integriertNaylonzylinder, und es ist verboten,ausgerichtet mitRecyclingdNylon; SGS-Bericht über die Feststellung der Niederschlagsmenge von Verunreinigungen, wobei die Niederschlagsmenge von Eisen und Chrom auf ppb-Niveau kontrolliert wird;Das Edelstahlgehäuse der gesamten Maschine ist vollständig vomSchleifenKammer, um zu verhindern, dass Metallreste aus der Welle in den Zylinder abdriften und das Pulver kontaminieren.

 

 

10Schlüsselhilfen zur Vermeidung von Fallstricke in der Industrie

10.1 Nylon-Tabus:Lange Zeitmüllung von Pulvern mit einer Härte von mehr als 7 Mohs.SchleifenTemperatur von mehr als 100 °C und Verbot konzentrierter Säure-Basen-Systeme.

10.2 Zirkonia-Tabus: Die langfristige Schleifung von weichem piezoelektrischem/Barium-Titanatpulver kann die ursprünglichen kugelförmigen Partikel zerbrechen und die Leistung elektronischer Komponenten beeinträchtigen.

10.3 PTFE-Tabus: Nach langem Schleifen von reinem hartem Pulver vermischen sich Fluorreste leicht mit dem Pulver und verursachen eine abnormale Isolierung der Halbleiterdünnfolien.

10... 4 Polyurethan-Tabus: Starke Ketonlithographie-Lösungsmittel, langfristige Eintauchen können Schwellungen, Delamination und Verunreinigung des Schlamms verursachen.

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